หม่อมเจ้า นั้นมีมาตั้งแต่ตอนต้นยุคกรุงศรีอยุธยาเป็นราชธานี มีหลักฐานปรากฏชัดเจนเพราะว่ามีศักดินาอยู่ในพระอัยการพลเรือนที่ได้ตราขึ้นในสมัยสมเด็จพระบรมไตรโลกนาถ
เจ้านายที่ดำรงพระยศหม่อมเจ้านี้ หากได้ทรงรับราชการสนองพระเดชพระคุณมาด้วยดี มีความดีความชอบต่อแผ่นดิน หรือต่อองค์พระมหากษัตริย์ ก็อาจได้รับการสถาปนาเลื่อนพระยศเป็นพระองค์เจ้าได้ ซึ่งในสมัยกรุงรัตนโกสินทร์ก็มีอยู่เป็นอันมาก
ในสมัยกรุงศรีอยุธยามีหม่อมเจ้ามาแต่สมัยต้นกรุงเนื่องมีหลักฐานปรากฏชัดเจนเพราะมีศักดินาดังกล่าวอยู่ในพระอัยการพลเรือนที่ได้ตราขึ้นในสมัยสมเด็จพระบรมไตรโลกนาถ
หม่อมเจ้าที่ปรากฏพระนามในสมัยกรุงศรีอยุธยา เช่น หม่อมเจ้าบัวหรือหม่อมเจ้าหญิงอำไพ (เจ้าแม่วัดดุสิต) พระราชธิดาในสมเด็จพระเอกาทศรถ, หม่อมเจ้าเจิดอุภัย พระสวามีในเจ้าแม่วัดดุสิต, หม่อมเจ้าอาทิตย์ (พระองค์เจ้าอาทิตย์ กรมหมื่นพิทักษ์ภูเบศร์) ในเจ้าฟ้าธรรมธิเบศรไชยเชษฐสุริยวงศ์ กรมขุนเสนาพิทักษ์
หม่อมเจ้าในสมัยกรุงธนบุรีนั้นส่วนมากเป็นพระราชนัดดาในสมเด็จพระเจ้ากรุงธนบุรี เมื่อต่อมาพระบาทสมเด็จพระพุทธยอดฟ้าจุฬาโลกมหาราชเสด็จเถลิงถวัลยราชสมบัติ สถาปนาราชวงศ์จักรี หม่อมเจ้าเหล่านี้จึงถูกถอดพระอิสริยยศเป็นสามัญชน บางพระองค์ได้รับใช้ใกล้ชิดราชสำนักก็จะได้รับแต่งตั้งให้มียศฐาบรรดาศักดิ์
พระบาทสมเด็จพระเจ้าอยู่หัวทุกพระองค์มีพระเจ้าน้องยาเธอ พระเจ้าลูกเธอ พระเจ้าหลานเธอ ทั้งฝ่ายหน้าฝ่ายในหลายพระองค์ทกๆ แผ่นดิน พระเจ้าน้องยาเธอ พระเจ้าลูกยาเธอ พระเจ้าหลานเธอก็มีความเจริญพระราชวงศ์ ด้วยมีบุตรบุตรีและนัดดาประนัดดาสืบแพร่หลายเป็นอันมาก ผู้ที่เป็นบุตรบุตรีเจ้าฟ้าแลพระองค์เจ้านั้นก็เป็นหม่อมเจ้า
ในสมัยกรุงรัตนโกสินทร์นั้นตั้งแต่รัชกาลที่ 1 จนถึงรัชกาลที่ 5 พระมหากษัตริย์ทุกพระองค์ทรงมีพระราชโอรสหลายพระองค์ พระราชโอรสนั้นก็ทรงมีพระโอรสที่ดำรงพระยศเป็นหม่อมเจ้าต่อมา ทำให้ราชวงศ์จักรีมีหม่อมเจ้าหลายพันพระองค์ ซึ่งหากหม่อมเจ้าพระองค์ใด ทำคุณประโยชน์แก่แผ่นดิน ก็จะทรงพระกรุณาโปรดเกล้าฯ แต่งตั้งขึ้นเป็นพระองค์เจ้า
