นาซีเยอรมนีได้จัดตั้งค่ายกักกันขึ้นตลอดดินแดนยึดครองของตน ค่ายกักกันนาซีในช่วงแรก ๆ เพิ่มจำนวนขึ้นอย่างมากในเยอรมนีภายหลังเหตุการณ์เพลิงไหม้รัฐสภาไรช์สทัก ในปี ค.ศ. 1933 โดยตั้งใจที่จะคุมขังนักโทษการเมืองและผู้ต่อต้านรัฐบาล ค่ายกักกันดังกล่าวได้เพิ่มจำนวนขึ้นอีกในช่วงคริสต์ทศวรรษ 1930 เมื่อมีการคุมขังนักโทษการเมืองและกลุ่มบุคคลอีกหลายกลุ่มโดยไม่มีการไต่สวนหรือกระบวนการตุลาการ คำดังกล่าวเป็นคำยืมมาจาก ค่ายกักกันอังกฤษ ระหว่างสงครามอังกฤษ-บัวร์ครั้งที่สอง นักวิชาการเรื่องการล้างชาติโดยนาซี (Holocaust) ได้กำหนดข้อแตกต่างระหว่างค่ายกักกัน (ดังที่อธิบายในบทความนี้) แลค่ายมรณะ ซึ่งเป็นค่ายที่สร้างขึ้นมาเพื่อจุดประสงค์ในการสังหารประชากรจำนวนมากลงเพียงอย่างเดียว ได้แก่ ชาวยิวในทวีปยุโรป ชาวโปล ชาวยิปซี และชาติอื่น ๆ ค่ายมรณะรวมไปถึง เบลเซค โซบิบอร์ ทริบลิงก้า และเอาชวิตซ์-เบอร์เคนาว
ภายหลังการปะทุของสงครามโลกครั้งที่สอง ในปี ค.ศ. 1939 ค่ายกักกันนาซีได้กลายเป็นสถานที่คุมขังศัตรูของนาซี ระหว่างสงคราม ค่ายกักกันสำหรับ "ผู้ไม่พึงปรารถนา" นี้ได้แพร่กระจายไปทั่วทวีปยุโรป มีการสร้างค่ายใหม่ ๆ ขึ้นใกล้กับศูนย์กลางของประชากร "ผู้ไม่พึงปรารถนา" นี้ ซึ่งมักเพ่งเล็งไปยังประชาคมชาวยิว กลุ่มปัญญาชนชาวโปล พวกคอมมิวนิสต์ หรือโรมา ก่อนสงคราม ในโปแลนด์มีชาวยิวอาศัยอยู่หลายล้านคน ค่ายกักกันส่วนใหญ่มักพบเห็นในพื้นที่ของเจเนรอลกอฟเวอร์เมนท์ ในดินแดนยึดครองโปแลนด์ เพื่อจุดประสงค์ด้านการขนส่ง นอกจากนี้ยังทำให้นาซีขนส่งชาวเยอรมันเชื้อสายยิวออกนอกประเทศได้อีกด้วย
กลุ่มผู้ต้องขังในค่ายกักกันส่วนใหญ่มีจำนวน 6 กลุ่ม โดยชาวยิวและเชลยศึกโซเวียตมีจำนวนมากที่สุด คือ หลายล้านคน นอกจากนี้ ยังมีพวกโรมา (หรือยิปซี), ชาวโปล, นักโทษการเมืองสายกลางหรือฝ่ายซ้าย, พวกรักร่วมเพศ, ผู้ซึ่งมีความบกพร่อง, ผู้นับถือลัทธิพยานพระเยโฮวาห์, นักบวชคาทอลิก, กลุ่มปัญญาชนยุโรปตะวันออก และอื่น ๆ รวมทั้งอาชญากรโดยทั่วไป สำหรับเชลยศึกฝ่ายสัมพันธมิตรตะวันตกจะถูกส่งไปยังค่ายกักกันในหลายจุดประสงค์ เขลยศึกเหล่านี้ที่เป็นยิว หรือที่พวกนาซีเชื่อว่าเป็นยิว มักจะถูกส่งไปยังค่ายเชลยศึกตามปกติ; อย่างไรก็ตาม มีจำนวนน้อยที่ถูกส่งไปยังค่ายกักกันภายใต้นโยบายต่อต้านชาวยิว
ในบางครั้ง ค่ายกักกันใช้เป็นที่คุมขังนักโทษสำคัญ อย่างเช่น นายพลซึ่งมีส่วนรู้เห็นในความพยายามลอบสังหารฮิตเลอร์ เช่น พลเรือเอก วิลเฮล์ม คานาริส ผู้ซึ่งถูกคุมตัวอยู่ที่ฟลอสเซนบูวร์ก เมื่อวันที่ 7 กุมภาพันธ์ ค.ศ. 1945 จนกระทั่งเขาถูกแขวนคอเมื่อวันที่ 9 เมษายน ไม่นานก่อนสงครามยุติ
ในค่ายกักกันส่วนใหญ่ มีการบังคับให้นักโทษสวมเครื่องแบบซึ่งบ่งชี้เอกลักษณ์ด้วยเข็มสีตามการจัดแบ่งประเภท: สามเหลี่ยมสีแดงสำหรับพวกคอมมิวนิสต์และนักโทษการเมืองอื่น ๆ, สามเหลี่ยมสีเขียวสำหรับอาชญากรทั่วไป, สีชมพูสำหรับชายรักร่วมเพศ, สีม่วงสำหรับผู้นับถือลัทธิพยานพระเยโฮวาห์, สีดำสำหรับพวกยิปซีและพวกที่หลีกหนีสังคม, และสีเหลืองสำหรับชาวยิว
นักโทษนับล้านเสียชีวิตในค่ายกักกันเนื่องจากการทำทารุณโดยเจตนา โรคระบาด การอดอาหาร และการใช้แรงงานหนัก หรือถูกประหารชีวิตเนื่องจากไม่สามารถใช้แรงงานได้ ชาวยิวมากกว่า 3 ล้านคนเสียชีวิตด้วยเหตุผลดังกล่าว ส่วนใหญ่เสียชีวิตในห้องรมแก๊ส แม้ว่าจะมีการสังหารนักโทษบางส่วนด้วยการยิงหรือด้วยวิธีการอื่น ๆ
การขนส่งนักโทษโดยรถรางบรรทุกมักจะอยู่ในสภาพแวดล้อมที่ไม่เมตตา ที่ซึ่งนักโทษจำนวนมากเสียชีวิตก่อนที่จะไปถึงจุดหมาย นักโทษจะถูกกักตัวอยู่ในรถราง ซึ่งบ่อยครั้งแล้วมักจะเป็นวันหรือเป็นสัปดาห์ โดยไม่มีน้ำหรืออาหาร หรือมิฉะนั้นก็มีให้น้อยมาก นักโทษจำนวนมากเสียชีวิตจากการขาดน้ำในอากาศร้อนจัดในฤดูร้อน หรือแข็งจนตายในฤดูหนาว นอกจากนี้ ค่ายกักกันพบเห็นในเยอรมนีด้วยเช่นกัน และในขณะที่มันมิได้รับการออกแบบมาเพื่อการสังหารหมู่อย่างเป็นระบบโดยเฉพาะ แต่นักโทษจำนวนมากก็เสียชีวิตจากสภาพแวดล้อมที่โหดร้ายหรือไม่ก็ถูกประหารชีวิต
ในช่วงต้นฤดูใบไม้ผลิ ค.ศ. 1941 หน่วยเอสเอส รวมทั้งแพทย์และเจ้าหน้าที่จากโครงการปรานีฆาต ที-4 เริ่มต้นการสังหารนักโทษซึ่งได้รับเลือกใน "ปฏิบัติการ 14f13" กองตรวจค่ายกักกันได้จัดหมวดหมู่ไฟล์ทั้งหมดที่เกี่ยวข้องกับการตายของนักโทษรวมกับ 14f และไฟล์ของนักโทษที่ถูกส่งตัวไปยังห้องรมแก๊สที-4 รวมกับ 14f13 ภายใต้ข้อบังคับทางด้านภาษาของเอสเอส นักโทษที่ได้รับเลือกจะระบุสำหรับ "การปฏิบัติอย่างพิเศษ (เยอรมัน: Sonderbehandlung) 14f13" นักโทษจะได้รับเลือกอย่างเป็นทางการ ขึ้นอยู่กับสภาพทางการแพทย์ของพวกเขา; กล่าวคือ ผู้ซึ่งไม่เหมาะสมใช้แรงงานอย่างถาวร เนื่องจากความเจ็บป่วย และอย่างไม่เป็นทางการ ได้ใช้หลักเกณฑ์ทางเชื้อชาติและการบำรุงพันธุ์มนุษย์: ชาวยิว ผู้พิการ และผู้ซึ่งมีประวัติอาชญากรรมหรือต่อต้านสังคม แต่สำหรับนักโทษชาวยิว ทางการไม่แสร้งทดสอบทางการแพทย์พวกเขาเสียด้วยซ้ำ: บันทึกการจับกุมทั้งหลายจะได้รับการระบุว่าเป็นการวินิจฉัยของแพทย์ทั้งสิ้น ในตอนต้นของปี ค.ศ. 1943 เมื่อมีความต้องการใช้แรงงานมากขึ้น และห้องรมแก๊สที่ค่ายเอาชวิตซ์เริ่มใช้การได้ เฮนริช ฮิมม์เลอร์ ออกคำสั่งยกเลิกปฏิบัติการ 14f13
ภายหลังปี ค.ศ. 1942 มีการก่อตั้งค่ายย่อย ๆ ขนาดเล็กจำนวนมากขึ้นใกล้กับโรงงานอุตสาหกรรมเพื่อป้อนการบังคับใช้แรงงาน อีเกฟาร์เบนได้ก่อตั้งเครื่องจักรผลิตยางสังเคราะห์ ในปี ค.ศ. 1942 ที่ค่ายกักกันโมโนวิทซ์ (เอาชวิตซ์ 3); มีการก่อตั้งค่ายอื่น ๆ ขึ้นติดต่อกับโรงงานผลิตเครื่องบิน เหมืองถ่านหิน หรือเครื่องจักรผลิตเชื้อเพลิงจรวด สภาพแวดล้อมของนักโทษเลวร้ายมากและมักมีการส่งตัวนักโทษไปยังห้องรมแก๊สหรือถูกสังหาร หากพวกเขาทำงานได้ไม่รวดเร็วพอ
หลังจากการพิจารณาหลายครั้ง การประกาศชะตากรรมสุดท้ายของนักโทษชาวยิว ("การแก้ปัญหาชาวยิวครั้งสุดท้าย") ในปี ค.ศ. 1942 ณ ที่ประชุมวันน์เซ ไปถึงเจ้าหน้าที่ระดับสูง
เมื่อสงครามใกล้ยุติ ค่ายกักกันได้กลายมาเป็นแหล่งทดลองทางการแพทย์ การทดลองวิชาว่าด้วยการบำรุงพันธุ์มนุษย์ การแช่แข็งนักโทษเพื่อทดสอบผลกระทบที่มีต่อนักบิน และการทดลองและยาเพื่อการสังหารปรากฏในค่ายกักกันหลายแห่ง นักโทษสตรีมักถูกข่มขืนและทำให้ขายหน้าเป็นกิจวัตรในค่ายกักกัน
ค่ายกักกันหลายนี้ได้รับการปลดปล่อยโดยฝ่ายสัมพันธมิตร ระหว่าง ค.ศ. 1943 และ ค.ศ. 1945 ซึ่งมักสายเกินกว่าจะสามารถช่วยเหลือนักโทษที่เหลืออยู่ อาทิ เมื่อกองกำลังสหราชอาณาจักรเข้าสู่ค่ายกักกันเบอร์เกน-เบลเซน ในปี ค.ศ. 1945 ทหารพบว่านักโทษ 60,000 คนมีชีวิตอยู่ แต่นักโทษกว่า 10,000 คน เสียชีวิตในสัปดาห์เดียวกันเนื่องจากไข้รากสาดใหญ่และการขาดอาหาร
